クリーン排気ユニット

クリーン排気ユニット

クリーンルーム内で使用される、あらゆるタイプの機器からの発塵を、積極的に防止する、当社オリジナルの機器組込用クリーンユニットです。

ご承知のように、クリーンルームの中だからといって、どこでも支障なく清浄度が確保されているわけではありません。 むしろクリーンルームの中だからこそ、装置の配置や物の流れに伴って、吹き溜まりが生じたり、塵埃発生源が看過されたりする可能性が潜在しています。そうした危惧のある個所・流路に、本製品を取り付けることによって、期待以上の優れた防塵効果をもたらします。 特に、従来の真空ブロアーの配管引き回しなど、大掛かりな手間やコストをかけた排気対策が、相当数の個所で不要となります。本製品の効果は、1992年度「第11回空気清浄とコンタミネーションコントロール研究大会」にて、詳しく紹介されております。

特徴

• 軽量コンパクトで発塵部位に直接取付可能
• 分散配置で効果的な防塵レイアウト
• クリーンルーム室圧に対してわずか9.8Pa以下のマイナス圧を維持することで高清浄度を確保可能
• 配管不要、真空ブロワー不要
• 低騒音
• ローコスト

用途例

• 生産機器
• 制御盤
• 自動機器（ロボット）
• 測定機器
• etc

外形図

特性線図