スーパークリーンベンチ
クリーンルーム用製品|クリーンルーム用
スーパークリーンベンチ
スーパークリーンベンチは、作業台上の作業空間に、スーパーゼットフィルタ(HEPA)でろ過された空気を層流で流し、常にクラス100の状態で作業できるようにした清浄作業台で、大別して垂直フロー形と水平フロー形に分けられます。
この他使用目的に応じて種々な形式のものがありますが、いかなる場合にも作業空間に乱流域ができない構造であると共に、騒音、振動に対して考慮がはらわれています。
設計基準
風速 | 0.5m/sec |
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清浄度 | 0.3μm以上3.5個/リットル以下(クラス100) |
ニューミクロンフィルタ使用の場合 0.1μm以上0.35個/リットル以下(クラス10) |
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振動 | X.Y.Z軸 2μm以下(無振動テーブル型は0.5μm以下) |
騒音 | 原則として65dB(A)以下 |