スーパークリーンベンチ

クリーンルーム用製品｜クリーンルーム用

スーパークリーンベンチ写真

スーパークリーンベンチは、作業台上の作業空間に、スーパーゼットフィルタ(HEPA)でろ過された空気を層流で流し、常にクラス100の状態で作業できるようにした清浄作業台で、大別して垂直フロー形と水平フロー形に分けられます。

この他使用目的に応じて種々な形式のものがありますが、いかなる場合にも作業空間に乱流域ができない構造であると共に、騒音、振動に対して考慮がはらわれています。

風速	0.5m/sec
清浄度	0.3μm以上3.5個/リットル以下(クラス100)
清浄度	ニューミクロンフィルタ使用の場合 0.1μm以上0.35個/リットル以下(クラス10)
振動	X.Y.Z軸 2μm以下(無振動テーブル型は0.5μm以下)
騒音	原則として65dB(A)以下