スーパーエアシャワーとは

クリーンルーム内部でのじん埃や菌の最も大きな発生源は人間です。そのためクリーンルームの清浄度を高めても、そこに出入りする人間や、物の汚染管理が不十分だと効果は著しく低下することになります。

スーパーエアシャワーはクリーンルームの出入口に設置し、外部からのじん埃などの進入を防止する機器です。同時にクリーンルームと外部をエアロックする効果もあります。

機器の構造

各部の構造

スーパーエアシャワー室内

ジェットエア吹出口より23m/s以上の清浄空気が吹き出し、じん埃や細菌を払い落とします。

メインフィルタ(HEPAフィルタ)

HEPAフィルタ(0.3μm粒子にて99.97%以上の捕集効率)を使用して、スーバーエアシャワー内の微粒子を除去し清浄空気とします。

ジェットエアファン

スーパーエアシャワー室内に多量の清浄空気を循環させます。

プレフィルタ

不織布フィルタで空気中の粗大なじん埃を除去します。

型式表示

※簡易設置形スーパーエアシャワーはこの中に含まれません。
※組み合わせによっては生産できない型式もあります。詳しくは当社までお問い合わせください。

標準仕様

捕集効率(%) 03μm粒子にて99.97以上
使用フィルタ プレフィルタ ※フィレドン PS/150N
メインフィルタ HEPAフィルタ
構造 本体 鋼板製焼付塗装仕上げ
ドア アルミ製(透明ガラス窓付)
SUS304ヘアライン研磨(70mm上り)
塗装色 標準色:マンセル2.5Y9/1 半ツヤ
操作 照明灯スイッチ(ON OFF) 照明灯直付け
ジェットエア吹出時間設定範囲: 5~60s (タイマー内蔵)
電源 3相 AC200V 50/60 Hz

※日本バイリーン(株)製
※その他特注対応については、当社までお問い合わせください。