ULPAフィルタ(Ultra Low Penetration Airfilter)

0.15μmの粒子に対して99.999%以上の捕集率を有するもので、半導体の生産工場の様な高い清浄度が要求されるクリーンルームや生産装置等に使用される超高性能フィルタ。

クリーンルーム・ユニット用

N-MP
ニューミクロンフィルタ
N-MP-S
ニューミクロンSフィルタ
N-MP-V
ニューミクロンVフィルタ
N-MP-Z
ニューミクロンZフィルタ
N-L-AFA
ウルトラエクセルフィルタ
N-L-A5FA
ウルトラエクセルフィルタ
N-LV-A6
ウルトラエクセルVフィルタ
N-LV-A8
ウルトラエクセルVフィルタ
FN-LV3-A
フロロニューミクロンエクセルV3フィルタ
FN-LV3-A5
フロロニューミクロンエクセルV3フィルタ
FN-LV3-A6
フロロニューミクロンエクセルV3フィルタ